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等離子蝕刻機(jī)設(shè)備生產(chǎn)后的殘留是在腔體內(nèi)還是被抽走_(dá)珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻機(jī)設(shè)備生產(chǎn)后的殘留是在腔體內(nèi)還是被抽走
2020-05-29
master
2612
等離子蝕刻機(jī)設(shè)備生產(chǎn)后的殘留99%被抽走,部分會(huì)停留在腔壁以及電極。
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