1、微波系統(tǒng)無損傳輸至腔體遠端形成等高密度離子體，等離子隨著真空泵抽離氣體形成的氣流，均勻流動到腔室內，并與加熱的晶圓表面光刻膠均勻反應；2、微波等離子體自偏壓低，等相刻蝕效果好，同時重型粒子轟擊、濺射和注入效應小，最低限度造成光刻膠去除同時對基材的損傷。適用在晶圓基各種工藝生產制造中，如集成電路、...