相對(duì)于中國在等離子蝕刻機(jī)上，珠海恒格電子科技有限公司的等離子蝕刻清洗設(shè)備，不僅可以滿足中國企業(yè)的需求，還能夠進(jìn)入國際市場上與應(yīng)用材料等國際巨頭一爭長短.而這背后，是一群科技人才耗費(fèi)十多年時(shí)間持之以恒的付出和努力換來的成績。

十年磨一劍技術(shù)應(yīng)用比國外優(yōu)勢

腔體采用航空鋁合金，無縫焊接，真空泄漏率小于20mt/min，可以更好保證均勻性。

電極采用一體成形工藝（無縫焊接），電極升溫效率高20%，咬蝕均勻。

真空泵組全方位多重保護(hù)系統(tǒng)（過流，過載，超溫保護(hù)）。

電極和RF電源/真空泵組采用獨(dú)立冷卻系統(tǒng)，確保設(shè)備穩(wěn)定性和延長設(shè)備使用壽命。

標(biāo)配四路、最多五路氣體配置。

氦氣氧氣軟件防保設(shè)備，氣體流量&壓力報(bào)警裝置系統(tǒng)。


德國工業(yè)電路安裝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

冷卻水和氣體流量實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)（HENGER專利）

PLC-人機(jī)操作軟件，簡單使用，數(shù)據(jù)動(dòng)作實(shí)時(shí)記錄，永久存儲(chǔ)，分級(jí)用戶權(quán)限管理。

Barcode掃描系統(tǒng)（選配功能）

恒格等離子VS國外品牌等離子

恒格等離子其它優(yōu)勢

腔體內(nèi)可拆卸面板：保護(hù)腔體，便于清洗，提高效率，提高咬蝕均勻性。

我們的愿景

做中國最好的“等離子體工業(yè)應(yīng)用”民族品牌

立足中國   面向世界。