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重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設(shè)備比國外應(yīng)用優(yōu)勢強(qiáng)_珠海恒格微電子裝備有限公司 重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設(shè)備比國外應(yīng)用優(yōu)勢強(qiáng)_珠海恒格微電子裝備有限公司

以人為本,實(shí)事求是

弘揚(yáng)工匠精神,建立工匠企業(yè)文化,創(chuàng)造一流企業(yè),驅(qū)動(dòng)“恒格制造”走向世界!

重磅消息解讀:中國等離子體蝕刻清洗設(shè)備比國外應(yīng)用優(yōu)勢強(qiáng)

2020-08-11 master 6546

相對(duì)于中國在等離子蝕刻機(jī)上,珠海恒格電子科技有限公司的等離子蝕刻清洗設(shè)備,不僅可以滿足中國企業(yè)的需求,還能夠進(jìn)入國際市場上與應(yīng)用材料等國際巨頭一爭長短.而這背后,是一群科技人才耗費(fèi)十多年時(shí)間持之以恒的付出和努力換來的成績。


十年磨一劍技術(shù)應(yīng)用比國外優(yōu)勢


腔體采用航空鋁合金,無縫焊接,真空泄漏率小于20mt/min,可以更好保證均勻性。

電極采用一體成形工藝(無縫焊接),電極升溫效率高20%,咬蝕均勻。


真空泵組全方位多重保護(hù)系統(tǒng)(過流,過載,超溫保護(hù))。

電極和RF電源/真空泵組采用獨(dú)立冷卻系統(tǒng),確保設(shè)備穩(wěn)定性和延長設(shè)備使用壽命。

標(biāo)配四路、最多五路氣體配置。

氦氣氧氣軟件防保設(shè)備,氣體流量&壓力報(bào)警裝置系統(tǒng)。


德國工業(yè)電路安裝設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)

冷卻水和氣體流量實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)(HENGER專利)

PLC-人機(jī)操作軟件,簡單使用,數(shù)據(jù)動(dòng)作實(shí)時(shí)記錄,永久存儲(chǔ),分級(jí)用戶權(quán)限管理。

Barcode掃描系統(tǒng)(選配功能)

恒格等離子VS國外品牌等離子


恒格等離子其它優(yōu)勢

腔體內(nèi)可拆卸面板:保護(hù)腔體,便于清洗,提高效率,提高咬蝕均勻性。



我們的愿景

做中國最好的“等離子體工業(yè)應(yīng)用”民族品牌

立足中國   面向世界。





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